? 靜電吸盤也叫靜電卡盤、ESC吸盤或Electrostatic -CHUCK 、工作原理是通過給靜電吸盤電極施加一定的電勢，使得在靜電吸盤的電極上和搬運物體對應的位置產生極性相反的電荷，從而利用電場力將需要搬運的物體吸附在靜電卡盤的表面上，靜電吸盤在真空環(huán)境吸附利器真空及離子體環(huán)境下仍保持良好的吸附力
? 廣泛應用在半導體、顯示面板真空蒸鍍，蝕刻，離子注入等工藝和TFT/OLED真空貼合制程。也可以輕松吸取柔軟透氣的物體。如針織布，網孔布等
? 靜電吸盤使用平面整體吸附方式用力均勻，對輕薄柔軟的物料吸附不產生壓痕及褶皺。我公司建立了自己的靜電吸附數(shù)據庫和模型，對應不同的使用場景通過優(yōu)化靜電吸盤的設計達到較低的電壓產生較大的吸力
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