
依據庫倫定律(兩個靜止的帶電粒子間的相互作用力)和洛倫茲定律(運動的電和在磁場中受的力),利用電磁力從而實現對物體有效地吸附。
靜電控制器通過將直流電壓經過增壓及倍壓處理,轉化為高壓靜電,靜電高壓經過靜電吸附單元(以單極或雙電極輸入模式)形成靜電磁場,從而對物體(導體或非導體機制)進行靜電吸附。
功能配置編輯
靜電卡盤系統由靜電吸附控制器、靜電吸附單元及組成。靜電吸附主機具有漏電保護、電流過載保護及高壓脈沖保護;靜電吸附單元電極采用高頻導體,表面一種采用氮化鋁陶瓷覆膜,另外一種采用聚酰亞胺薄膜覆膜,在保證輸出穩定,同時避免高壓靜電壓尖銳擊穿。
產品特色
傳統抓取搬運設備采用的是機械運動或真空吸力,但這類機器體型很大,造價高昂,耗電很高;想要拿起特定的物體,還需要對它們進行配置。而如果對象是玻璃板這樣的脆弱物體,那它們也無能為力。靜電卡盤系統可舉起并運輸物體,其表面的電極可在幾乎任何物體之間產生并維持強大的吸附力,可以拿起任何物體,比如罐子、水果、盒子、箱子、玻璃板、硅膠板和纖維板。
使用特點
能在大氣和真空環境下同時使用;
能吸附導體、半導體、絕緣體及多孔材料;
精簡夾持搬運機構,靜電吸附能耗低;
吸附力均勻,吸附時不會出現局部受力;
對大面積薄片工件輕軟支撐,吸附時不會產生傷痕和皺紋;
能夠快速開啟和關閉,對象物體背面不產生電位,不吸附周圍的灰塵。